說明:
硅晶片在溫度變化過程中的形貌測量快速熱處理(RTP)是硅晶片制造過程中的一個重要步驟,在這一過程中,晶片會在短時間內(nèi)被加熱至高溫,然后以可控的方式緩慢冷卻,以賦予晶片所需的半導(dǎo)體特性。硅晶片在溫度變化過程中的形貌測量對其性能穩(wěn)定性至關(guān)重要。本文將探討瑞士丹青 S neox 三維輪廓測量系統(tǒng)在硅晶片溫度形貌測量方面的突出優(yōu)勢。硅晶片作為一種新型半導(dǎo)體材料,具有高熱導(dǎo)率、高電子遷移率和高穩(wěn)定性等優(yōu)點,因此在航空航天、汽車電子、可再生能源等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。然而,硅晶片在高溫度環(huán)境下的形貌變化對其性能有著重要影響,因此對其進行精確的溫度形貌測量至關(guān)重要。瑞士丹青 S neox 三維輪廓測量系統(tǒng)是一款高精度的非接觸式三維形貌測量儀,能夠在不同溫度下對硅晶片進行精確測量。通過采用先進的光學(xué)掃描技術(shù),S neox 可以捕捉到晶片表面微小的形貌變化,為科研與生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)支持。產(chǎn)品優(yōu)勢:1、高精度:瑞士丹青S neox 采用內(nèi)先進的光學(xué)掃描技術(shù),測量精度高達納米級別,確保了測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。2、非接觸式測量:避免了對碳化硅晶圓表面的物理損傷,確保了樣品的完整性。3、快速掃描:S neox具有快速掃描功能,能夠在短時間內(nèi)完成大量樣品的測量,提高工作效率。通過S neox 的精確測量,科研人員和企業(yè)可以更好地了解硅晶片在溫度變化過程中的形貌變化規(guī)律,進而優(yōu)化生產(chǎn)工藝,提高產(chǎn)品質(zhì)量。此外,SensoSCAN軟件可協(xié)助自動化操作,減少人工干預(yù),提高測量效率和重復(fù)性。瑞士丹青 S neox三維輪廓測量系統(tǒng)作為一款先進的三維形貌測量儀,其在硅晶片溫度形貌測量方面具有顯著優(yōu)勢。借助S neox三維輪廓測量系統(tǒng) ,企業(yè)可以更好地掌握產(chǎn)品質(zhì)量,提高生產(chǎn)效率,為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻力量。
說明:
現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的目標(biāo)是為便攜式產(chǎn)品開發(fā)具有越來越小和更薄封裝的電子設(shè)備。實現(xiàn)這一目標(biāo)最重要的步驟之一是通過機械研磨工藝將加工后的硅晶片從背面減薄至 50μm 以下。為了避免應(yīng)力和亞表面損傷,這對表面粗糙度要求非常高,在最終研磨步驟中,該粗糙度可能在 1 nm Ra 的范圍內(nèi)。測量這一等級的表面粗糙度的常用方法是通過共聚焦顯微鏡 (CFM)、白光干涉儀 (WLI) 或原子力顯微鏡 (AFM) 進行單點或是劃線測量。但這些儀器的缺點是對機械環(huán)境噪聲敏感,測量時間長。這里,我們將介紹一種新型的散射光測量方法,該方法能夠在不到 30 秒的時間內(nèi)測量直徑300 mm整個晶圓表面。除了粗糙度,傳感器還同時測量翹曲、波紋度和缺陷。同時將展現(xiàn)采用不同粒度研磨表面的測試結(jié)果分析。 晶圓表面加工工藝過程極小和高密度電子產(chǎn)品的趨勢需要先進的工藝來滿足設(shè)備的厚度和熱性能規(guī)格。這意味著處理后的硅晶片必須從其原始厚度超過 700 µm 減薄至 50 µm 或更小。最常見且成本相對較低的減薄方法是通過機械去除殘余硅的背面研磨。晶片固定在多孔真空吸盤上,IC(集成電路)面朝下。砂輪的旋轉(zhuǎn)軸與晶片的旋轉(zhuǎn)軸離軸定位(距離是晶片的半徑)??ūP呈略呈圓錐形的形狀,以很小的傾斜度使晶片變形,以確保砂輪在研磨過程中僅接觸晶片的一半。由于卡盤的旋轉(zhuǎn)和砂輪的同時旋轉(zhuǎn),在晶片表面上產(chǎn)生了典型的螺旋劃痕圖案。根據(jù)砂輪的粒度以及轉(zhuǎn)速和進給率等加工參數(shù),這種機械沖擊是造成粗糙度、應(yīng)力和誘發(fā)亞表面損傷的原因。因此,現(xiàn)代晶圓磨床從粗砂輪開始,先是快速去除多余硅,最后使用小粒度砂輪進行精細研磨。當(dāng)減薄至 50 µm 以最大程度地減少次表面損傷和應(yīng)力時,這個最終過程是絕對必要的。表面粗糙度通常應(yīng)在 Ra 當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)測量方法的局限性是砂輪與其大量單刀刃的相互作用,與硅表面經(jīng)歷不均...
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全自動螺紋測量機爆破鉆桿測量測試在當(dāng)今的石油勘探領(lǐng)域,射孔槍作為一種關(guān)鍵的鉆井工具,承擔(dān)著震碎井下地質(zhì)結(jié)構(gòu)、提高油氣抽取效率的重要任務(wù)。然而,由于其工作的特殊性和環(huán)境的復(fù)雜性,射孔槍的質(zhì)量和性能成為影響鉆井效率和安全的關(guān)鍵因素。由于射孔槍是破壞性的消耗品,因此其用量很大,需要高效且精確的檢測設(shè)備來保證其質(zhì)量。該項目的檢測設(shè)備需要能夠集成到生產(chǎn)線中,并且能夠全自動地檢測管件內(nèi)螺紋的各種參數(shù),如大徑、小徑、中徑、螺距等。此外,該設(shè)備還需滿足普通螺紋規(guī)程和標(biāo)準(zhǔn),能夠自動進行檢測結(jié)果判定,并在檢測異常時及時反饋給產(chǎn)線PLC,以便于及時處理。為此,某石油制造公司與一家智能系統(tǒng)股份公司合作,引入了瑞士丹青科技全自動螺紋測量機,以提高射孔槍的檢測效率和精度。瑞士丹青科技的萬能螺紋測量儀是一種全自動測量內(nèi)外螺紋的設(shè)備。這款測量儀具有高精度和高效率的特點,適用于多種螺紋類型的測量,包括圓柱螺紋、管螺紋、錐螺紋等。它符合多種國際標(biāo)準(zhǔn),如ANSI/ASME、BS、ISO、DIN、JIS等,并具有認證技術(shù),確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。這套全自動螺紋測量機的引入,不僅提高了射孔槍的檢測效率和精度,也為我國的石油勘探事業(yè)提供了有力的技術(shù)支持。我們相信,在科技的助力下,我國的石油勘探事業(yè)將取得更大的突破和進步。
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軸類應(yīng)用的精密守護者瑞士丹青科技軸類水平儀親愛的朋友們,大家好!在今天的推送中,我們將聚焦于軸類應(yīng)用在極端環(huán)境下的精度監(jiān)測問題,并為大家介紹一款能夠在各類環(huán)境中穩(wěn)定發(fā)揮的測量利器——軸類水平儀。這款儀器以其高分辨率和高靈敏度的特點,成為了軸類應(yīng)用精密守護者。接下來,讓我們一探究竟,看看軸類水平儀是如何在這些挑戰(zhàn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用的。 極端海況下的挑戰(zhàn)在海上,大型船類曲軸面臨著劇烈振動、溫度變化、腐蝕和長時間運行等挑戰(zhàn)。這些因素可能導(dǎo)致曲軸的變形、磨損,從而影響船舶的動力輸出和安全性。在極端海況下,曲軸的精度尤為關(guān)鍵,任何微小的偏差都可能導(dǎo)致整個船舶系統(tǒng)失效。瑞士丹青科技軸類水平儀的專業(yè)解決方案瑞士丹青科技軸類水平儀專門設(shè)計用于解決這些挑戰(zhàn),提供高精度的測量數(shù)據(jù),確保曲軸的精確水平。它的耐腐蝕材料和抗振動設(shè)計,使其能夠在惡劣的海洋環(huán)境中穩(wěn)定工作。此外,軸類水平儀的溫度補償技術(shù)能夠自動調(diào)整因溫度變化引起的數(shù)據(jù)偏差,保障數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。瑞士丹青科技軸類水平儀的這些特點使得它能夠準(zhǔn)確監(jiān)測曲軸的微小傾斜和偏移,確保動力系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。在某大型遠洋貨輪的曲軸校準(zhǔn)現(xiàn)場,瑞士丹青科技軸類水平儀的表現(xiàn)證明了其卓越性能:- **精確監(jiān)控**:軸類水平儀精確檢測曲軸的微小傾斜和偏移,確保動力系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。在極端海況下的測試中,曲軸的傾斜度保持在預(yù)定的安全范圍內(nèi),避免了潛在的運行風(fēng)險。- **快速響應(yīng)**:高靈敏度使得工程師能夠迅速發(fā)現(xiàn)并糾正曲軸的任何偏差。在緊急情況下,軸類水平儀迅速識別出曲軸的微小偏移,工程師及時進行了調(diào)整,避免了潛在的安全隱患。- **可靠數(shù)據(jù)**:通過軸類水平儀提供的高分辨率數(shù)據(jù),工程師能夠?qū)ηS的穩(wěn)定性進行評估,優(yōu)化船舶的運行方案。在航行前,軸類水平儀的數(shù)據(jù)分析幫助工程師識別出潛在的曲軸磨損問題,及時進行了更換,確保了航行的安全。瑞士丹青科技軸類水平儀以其高分辨率和高...
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內(nèi)徑測量儀革新者瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測量儀,憑借其深厚的歷史底蘊和卓越的測量性能,已經(jīng)贏得了眾多企業(yè)的認可。這款設(shè)備有著百年歷史,是精密內(nèi)徑測量的兩點接觸設(shè)備,適用于工序前和最后的檢測,尤其適合高精度批量生產(chǎn)的零件檢測。測孔專家瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測量儀采用兩點接觸測量方式,適用于工序前后的精密檢測,特別適合高精度批量生產(chǎn)的零件檢測。設(shè)備在測量孔徑過程中,測頭通過中板自動對中,中板寬度越寬,對中精度越高,測量結(jié)果越可靠。但在測量過程中,還需注意確認反轉(zhuǎn)點,并通過轉(zhuǎn)動測量規(guī)獲取最小顯示值。此外,連接桿采用特殊的鎳合金材料,以確保測量精度。精準(zhǔn)檢測瑞士丹青OD塞規(guī)測量系統(tǒng)是一種具有自動顯示、自動定中心功能的高精度測量儀器,適合靜態(tài)和動態(tài)測量。通過手動測量可以檢測出孔的尺寸偏差和形狀誤差,也可安裝在測量設(shè)備上進行自動檢測。適用通孔、盲孔、錐孔、臺階孔、方孔等測量。神器加持瑞士丹青IFM內(nèi)錐孔端面直徑測量系統(tǒng)可用來對內(nèi)錐孔端面直徑實施準(zhǔn)確快速測量,特別適用于螺釘沉孔、各類中心孔、錐孔以及各種槽的倒角、皮帶輪架等。由于所配指示表為函數(shù)表,可直接讀數(shù)。根據(jù)錐孔角度的不同,IFM測頭錐面角度有90°和127°兩種??梢愿鶕?jù)用戶的要求特別開發(fā)各種專用量具。遙遙領(lǐng)先瑞士丹青Osimess系列兩瓣式小孔徑快速量儀,重復(fù)精度高,可檢測孔的圓度和橢圓度,內(nèi)置式彈性體提供了連續(xù)的測力,因此消除了人為因素帶來的測量誤差??梢钥焖俚恼{(diào)整到所需尺寸模塊式結(jié)構(gòu),配置各種附件后可滿足任何的測量需求,尤其適用小孔的測量,以及實驗室中高精度要求孔徑測量。瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測量儀以精密測量、可靠性能和百年品牌歷史,樹立了行業(yè)內(nèi)優(yōu)質(zhì)測量設(shè)備的典范。無論是產(chǎn)品質(zhì)量還是技術(shù)支持,都具備高度的可信度,是企業(yè)值得信賴的選擇。我們誠摯地歡迎各行業(yè)關(guān)注并深入了解SUBITO系列內(nèi)徑測...
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集成式渦輪轉(zhuǎn)子測量和組裝平臺 “通過減少效率低下的轉(zhuǎn)子組件拆卸次數(shù),省去昂貴的拆卸費用及時間,提高生產(chǎn)率并實現(xiàn)更高的質(zhì)量水平” 瑞士丹青GeoSpin高精度轉(zhuǎn)子測量和裝配優(yōu)化平臺是一種先進的檢測設(shè)備,主要用于航空工業(yè)中對于零件,尤其是轉(zhuǎn)子和機匣的精確測量和優(yōu)化裝配。其主要功能包括測量圓度、跳動、平面度、同軸度、平行度等關(guān)鍵尺寸參數(shù),以確保零部件的加工質(zhì)量和裝配精度。典型案例應(yīng)用: 1、測量各種尺寸和尺寸的飛機發(fā)動機,工業(yè)燃氣輪機和蒸汽輪機的大型圓形零件,例如回轉(zhuǎn)軸承和光學(xué)組件。2、監(jiān)視大型旋轉(zhuǎn)軸的電氣跳動(ERO)。3、計算圓形幾何形狀,包括圓度,偏心率,直徑和平面跳動,平面度和平行度。該測量機可以測量零件的連續(xù)內(nèi)外表面、不連續(xù)內(nèi)外表面,同時獲得多個截面圓度、跳動、平面度、平行度、同軸度等測量數(shù)據(jù)。該儀器可以用于車間現(xiàn)場檢測,尤其是在高噪音、高震動等惡劣環(huán)境下工作,可以對零件進行準(zhǔn)確的調(diào)心調(diào)平。(儀器可以根據(jù)用戶特殊需要訂制)CHOOSE US1. 全自動——電動軸提高了穩(wěn)定性并減少了人為錯誤,從而使軌距的可重復(fù)性和再現(xiàn)性(量規(guī) R&R)提高了10倍,比手動系統(tǒng)的同心度測量提高了3.5倍。 2. 廣泛的產(chǎn)品范圍——我們的產(chǎn)品范圍涵蓋(所有飛機發(fā)動機零件,從20–5000千克到最大的陸上燃氣渦輪盤,重量15000kg及以上。3. 廣泛采用——我們是轉(zhuǎn)子和磁盤測量的專家,在全球范圍內(nèi)已安裝數(shù)百臺。4. 全貌——我們?yōu)槟峁┍雀偁帉κ侄?倍的檢測數(shù)據(jù),這意味著您可以真正了解零部件(和組件)的形狀。5. 完全優(yōu)化的轉(zhuǎn)子組件——我們的IntelliStack軟件旨在優(yōu)化轉(zhuǎn)子組件,以最大程度地減少跳動或不平衡,或?qū)?我們的檢測 數(shù)據(jù)直接導(dǎo)出到您自己的堆疊軟件中。 6. 全包(包)式——完全控制更改和創(chuàng)建自己的檢驗?zāi)0?,以及與客戶和供應(yīng)商...